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高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 放射光科学第一研究系

雨宮 健太 教授

ナノを超える深さ分解能で界面の化学状態・磁性をとらえる

ナノテクノロジー
小間 N-03

High Energy Accelerator Research Organization Professor Amemiya Kenta

Observation of chemical and magnetic states at interface beyond nanometer depth resolution

小間:小間番号   プレ:プレゼンテーション番号

7 エネルギーをみんなに そしてクリーンに
出展ゾーン
大学等シーズ展示ゾーン
出展分野
ナノテクノロジー
小間番号
N-03

共同研究者

群馬大学 大学院理工学府
准教授 鈴木 真粧子

展示概要

技術概要
薄膜デバイス等の界面における元素組成,化学状態,磁性について,その深さ方向の分布をナノメーターを超える深さ分解能で観察する手法を開発しています。放射光軟X線を用いることで,デバイスに含まれるそれぞれの元素に対して,化学状態の混合比や磁気モーメントなどを定量的に決定することができます。特に,表面に近いところでは原子層レベルでの深さ分解解析を実現しています。また,軟X線は電界や磁界に影響を受けないため,デバイスが動作している状態で観察することが可能です。

想定される活用例
・ナノ薄膜・多層膜デバイスの界面状態観察
・ナノデバイス等の機能と界面状態の相関の解明による性能向上
・デバイス等の作製条件の最適化

 

展示のみどころ
世界で初めて開発した,ナノメーターを超える分解能を誇る深さ分解分析法の紹介です。深さ分解能は断面TEMには及びませんが,非破壊で,化学状態や磁性の深さ方向への分布を定量的に観察できるのが,この手法の特長です。また,電界・磁界などの影響を受けないため,動作状態での分析ができるのも大きな特長です。薄膜デバイスをはじめ,界面が性能の鍵を握る材料の開発に,必ず役立つと確信しています。

 

蛍光X線の検出角度によって検出深さが異なることを利用してナノを超える深さ分解能を実現

手法の説明 / Principle of the technique

厚さ4.3 nmのFeCo薄膜の表面酸化物層(3.1 nm)と内部金属層(1.2 nm)を識別

手法の適用例 / Application of the technique

お問い合わせ先

研究協力部研究協力課産学公連携・知財係

メールアドレス:kenkyo2@mail.kek.jp

電話:029-864-5125   FAX:029-864-4602  

URL:https://www.kek.jp/ja/ForBusiness/Cooperative/

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